因为冷水机能够控制真空镀膜机的温度，以保证镀件的高质量。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、高效率控制温度的目的，因为自然水和冷却水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的，应用于真空镀膜工艺的冷水机，我们称之为镀膜冷水机。
中频设备必须配冷水机加冷却水原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。镀膜为什么也要用冷水机进行冷却?因为磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形，所以它有一个水套用来冷却射枪。同时还有一个重要原因，磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜基结合力好。
从更深层次研究电子在非均匀电磁场中的运动规律,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。
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