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真空镀膜机的工作原理

作者: 来源: 日期:2017/3/7 16:00:43 人气:523

各种真空镀膜机的工作原理概述

1. 空心阴极离子镀原理在本底真空为高真空的条件下由阴极中通入氩器气1-10-2在阴极与辅助阳极之间加上引弧电压使氩气发生辉光放电在空心阴极内产生低压等离子体放电阴极温度升高到2300-2400K时由冷阴极放电转为热阴极放电开始热电子发射放电转为稳定状态。通入反应气体可以制化合膜。

2. 测控溅射工作原理先将真空室预抽至10-3Pa然后通入气体如氩气气压为1-10 Pa时给靶加负电压产生辉光放电电子在电场正作用下加速飞向基片时与氩原子碰撞电离出Ar和另一个电子轰击靶材由二次电子电离的越来越多不断轰击靶材磁场改变电子的运动方向以电磁场束缚和延长电子的运动轨迹从而提高电子对工作气体的电离几率。

3. 多弧离子镀工作原理其工作原理为冷阴极自持弧光放电其物理基础为场致发射。被镀材料接阴极真空室接阳极真空室抽为高真空时引发电极启动器接触拉开此时阴极与阳极之间形成稳定的电弧放电阴极表面布满飞速游动的阴极斑部分离子对阴极斑的轰击使其变成点蒸发源以若干个电弧蒸发源为核心的为多弧离子镀。

4. 电阻蒸发式镀膜机膜材即要镀的材料放于蒸发舟中置于真空室中抽到一定真空时通过电阻加热膜材使其蒸发当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源至基片的线性尺寸时原子和分子从蒸发源中逸出后到达基片形成膜。为了使膜厚均匀可以利用电机带动基片旋转并用膜厚仪控制膜厚制出优质膜。

5. E型枪工作原理阴极灯丝加热后发射具有0.3 EV初动能的热电子这些热电子在灯丝阴极与阳极之间的电场作用下加速并会聚成束状。在电磁线圈的磁场中电子束沿E x B的方向偏转通过阴极时电子的能量提高到10KV通过阳极电子偏转270度角而入射坩埚内的膜材表面上轰击膜材使其蒸发。

6. PCVD镀膜工作原理将被镀件放在低压辉光放电的阴极上通入适当气体在一定温度下利用化学反应和离子轰击相结合的过程在工件表面获得涂层。

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